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相比於直流、中頻、高頻和射頻等離子體,微波等離子體具有更高的電子溫度、更高的等離子體濃度以及活性,在應(yīng)用中具有低溫和高效的優(yōu)勢(shì),尤其適用於溫敏材料的處理。此外,微波等離子體具有零電位差的優(yōu)點(diǎn),也適合於靜電敏感材料的處理。
國(guó)興常壓微波等離子炬的應(yīng)用:
國(guó)興常壓微波等離子炬主要應(yīng)用於材料的清洗以及表面活化:
- 焊線(wirebonding)前的預(yù)處理
- 粘接預(yù)處理
- 覆膜前預(yù)處理
- 塗覆/印刷前預(yù)處理
- 靜電敏感元件的表面處理
此外,用氮?dú)庾龉ぷ鳉?,等離子體溫度可以接近室溫,非常適合於創(chuàng)口滅菌以及皮膚病治療。